橢偏儀在平板顯示行業(yè)中應(yīng)用

目 錄

01平板顯示行業(yè)測(cè)量介紹

02平板顯示行業(yè)的量測(cè)意義

03平板顯示行業(yè)的測(cè)量解決方案

 01 平板顯示行業(yè)測(cè)量介紹

平板顯示器件于20世紀(jì)60年代出現(xiàn)，主要包括液晶顯示器、發(fā)光二極管、等離子顯示板、電致發(fā)光顯示器等。目前液晶顯示LCD（Liquid Crystal Display）與有機(jī)電致發(fā)光顯示OLED（Organic Light-Emitting Diode）為平板顯示行業(yè)主要顯示技術(shù)，占據(jù)行業(yè)絕大部分產(chǎn)值。

檢測(cè)是面板生產(chǎn)過(guò)程的必要環(huán)節(jié)。面板顯示檢測(cè)的作用是在面板顯示器件的生產(chǎn)過(guò)程中進(jìn)行光學(xué)、信號(hào)、電氣性能等各種功能檢測(cè)，發(fā)現(xiàn)制程中的缺陷，避免產(chǎn)品流片至后段造成更大損失。以市占率最大的LCD為例，平板顯示器件主要分為彩膜Color Filter（CF）、陣列 （Array）、成盒（Cell）和模組（Module）四個(gè)制程，生產(chǎn)制程中均需要相應(yīng)的檢測(cè)。

  02平板顯示行業(yè)的量測(cè)意義

在CF和Array制程中，成膜質(zhì)量的好壞直接關(guān)系到產(chǎn)品性能和合格率。以CF制程為例，主要由黑色矩陣（Black Matrix）、彩色光阻（RGB）、平坦層（Overcoat）、支撐柱（Photo Spacer）、配向膜（Polyimide Film）組成，結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。

圖1 CF側(cè)結(jié)構(gòu)示意圖

CF制程各膜層的光學(xué)性能和膜厚，與TFT-LCD的亮度（出光效率）、對(duì)比度等產(chǎn)品光學(xué)性能與直接相關(guān)。黑色矩陣BM（Black Matrix），其主要作用是隔絕RGB色阻防止混色，以及防止漏光，因此BM材料要求透過(guò)率低。制作BM的材料一般有Cr、CrOx及黑色樹(shù)脂等。RGB是顯示的三原色，RGB色阻用于組成和顯示所有其他顏色，如圖2所示。當(dāng)白光照射時(shí)，色阻會(huì)反射單色光(RGB)，色阻材料會(huì)吸收其余波段的光，形成所需顏色。PI配向膜是TFT-LCD顯示屏的關(guān)鍵材料，該材料在成盒（Cell）工段被涂覆在基板與彩膜上，通過(guò)摩擦配向或光配向后，用以協(xié)助液晶分子按特定方向排列。這種結(jié)構(gòu)一般具有多軸光學(xué)性質(zhì)，因此表征需要考慮到光學(xué)各向異性。對(duì)這些膜層的光學(xué)參數(shù)和厚度進(jìn)行快速、非破壞、準(zhǔn)確的量測(cè)能有效提高平板顯示器件的產(chǎn)品性能和合格率，具有重要的意義。

圖2 RGB三原色

03平板顯示行業(yè)的測(cè)量解決方案

橢圓偏振光譜法是一種物理測(cè)量方法，即使用橢偏儀（SE）來(lái)獲取薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)。具有無(wú)損傷樣件、靈敏度高和量測(cè)速度快等優(yōu)點(diǎn)，可精確地表征介質(zhì)膜（如SiOx、SiNx等）、優(yōu)異光電性能的氧化銦錫（ITO）、聚酰亞胺（PI）以及非晶硅（a-Si）等單層或多層薄膜的膜厚及材料的光學(xué)特性（如折射率、組分、各向異性和均勻性）,是一種可以滿足以上量測(cè)需求的解決方案。

一、黑色矩陣BM

對(duì)玻璃基底單層BM膜層進(jìn)行建模測(cè)量，其結(jié)構(gòu)示意圖見(jiàn)圖3。

黑色矩陣BM的橢偏光譜擬合結(jié)果如圖4所示，使用橢偏建模軟件仿真得到的透過(guò)率如圖5所示，滿足工藝預(yù)期。

二、色阻層RGB

對(duì)玻璃基底單層R色阻進(jìn)行建模測(cè)量，其結(jié)構(gòu)示意圖見(jiàn)圖6。

R色阻的擬合結(jié)果如圖7所示，測(cè)量橢偏參數(shù)與仿真參數(shù)匹配度高，GOF>0.95。其透過(guò)率擬合結(jié)果如圖8所示，實(shí)測(cè)與建模仿真得到的透過(guò)率一致。

對(duì)樣品進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量，R色阻的厚度分布如圖9所示，與參考一致，滿足預(yù)期。

三、配向膜PI

對(duì)Si或者玻璃基底的單層配向膜PI進(jìn)行建模測(cè)量，其結(jié)構(gòu)示意圖見(jiàn)圖10。

圖10 單層PI膜層結(jié)構(gòu)

配向膜PI的橢偏光譜擬合結(jié)果如圖11所示，測(cè)量橢偏參數(shù)與仿真參數(shù)匹配度高，GOF>0.95，其nk各項(xiàng)異性表征如圖12所示。