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    首頁-產(chǎn)品系統(tǒng)-橢偏儀系列-光譜橢偏儀-SE-VF 光譜橢偏儀

    SE-VF 光譜橢偏儀

    簡要描述:針對微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量定制的專用型光譜橢偏儀

    產(chǎn)品型號:  更新時間:2025-02-08  瀏覽次數(shù):2616

    • 廠家實力

      Manufacturer Strength
    • 有效保修

      Valid Warranty
    • 質(zhì)量保障

      Quality Assurance

    詳細介紹

    一、概述

    SE-m 是一款針對半導體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量的專用型光譜橢偏儀,其采用  超小微光斑探測測量技術(shù), 定制超快測量速度等技術(shù)??蓱猛该?/span>各類襯底上的減反膜、導電膜等薄膜的n/k/d測量,適用于微區(qū)圖形的各種光學參數(shù)解析。


    二、特色功能

    ■ 可定制光斑尺寸,最小可達30um;

    ■ 超快測量,單次測量時間小于0.5秒 ;

    ■ 系列配置靈活,支持功能定制設(shè)計;

    ■ 結(jié)構(gòu)緊湊,更適應在線集成測量。

    三、測量實例

    捕獲.JPG微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量

    捕獲.JPG

    四、應用場景 

    應用于光學常數(shù)測量,適用于各類光學薄膜等鍍膜檢測應用。

    微信截圖_20180930104450.png






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