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    首頁(yè)-產(chǎn)品系統(tǒng)-橢偏儀系列-光譜橢偏儀-SE-VF 光譜橢偏儀

    SE-VF 光譜橢偏儀

    簡(jiǎn)要描述:針對(duì)微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量定制的專用型光譜橢偏儀

    產(chǎn)品型號(hào):  更新時(shí)間:2025-04-27  瀏覽次數(shù):3318

    • 廠家實(shí)力

      Manufacturer Strength
    • 有效保修

      Valid Warranty
    • 質(zhì)量保障

      Quality Assurance

    詳細(xì)介紹

    一、概述

    SE-m 是一款針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量的專用型光譜橢偏儀,其采用  超小微光斑探測(cè)測(cè)量技術(shù) 定制超快測(cè)量速度等技術(shù)。可應(yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測(cè)量,適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。


    二、特色功能

    ■ 可定制光斑尺寸,最小可達(dá)30um;

    ■ 超快測(cè)量,單次測(cè)量時(shí)間小于0.5秒 ;

    ■ 系列配置靈活,支持功能定制設(shè)計(jì);

    ■ 結(jié)構(gòu)緊湊,更適應(yīng)在線集成測(cè)量

    三、測(cè)量實(shí)例

    捕獲.JPG微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量

    捕獲.JPG

    四、應(yīng)用場(chǎng)景 

    應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測(cè)量,適用于各類光學(xué)薄膜等鍍膜檢測(cè)應(yīng)用。

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