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    首頁-產(chǎn)品系統(tǒng)-橢偏儀系列-光譜橢偏儀-ME-Mapping光譜橢偏儀

    ME-Mapping光譜橢偏儀

    簡要描述:教學橢偏儀,Mapping系列光譜橢偏儀是全自動高精度Mapping繪制化測量光譜橢偏儀,配置全自動Mapping運動機構(gòu),通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實現(xiàn)薄膜全基片的膜厚及光學參數(shù)自定義繪制化測量表征。

    產(chǎn)品型號:  更新時間:2025-02-08  瀏覽次數(shù):2324

    • 廠家實力

      Manufacturer Strength
    • 有效保修

      Valid Warranty
    • 質(zhì)量保障

      Quality Assurance

    詳細介紹

     

    一、概述

         ME-Mapping 光譜橢偏儀是一款可定制化Mapping繪制化測量光譜橢偏儀,配置全自動Mapping測量模塊,通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實現(xiàn)薄膜全基片膜厚以及光學參數(shù)自定義繪制化測量表征和分析。

     

    ■ 全基片橢偏繪制化測量解決方案;

    ■ 支持產(chǎn)品設計以及功能模塊定制化,一鍵繪制測量;

    ■ 配置Mapping模塊,全基片自定義多點定位測量能力;

    ■ 豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強大數(shù)據(jù)分析能力。

    二、產(chǎn)品特點

     

    ■ 采用氘燈和鹵素燈復合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm);

    image.png

     

    ■ 高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、PCRSA配置,實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集;

    捕獲.JPG

    ■ 具備全基片自定義多點自動定位測量能力,提供全面膜厚檢測分析報告;

    微信截圖_20180924222448.png

    ■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料。

    庫.png

    三、產(chǎn)品應用

     

          ME-Mapping廣泛應用OLED,LED,光伏,集成電路等工業(yè)應用中,實現(xiàn)大尺寸全基片膜厚、光學常數(shù)以及膜厚分布快速測量與表征。

    111.png

     

     

     

    可選配件

    ME-L0.png

    ME-L.png

    真空泵 透射吸附組件

     

     

    技術(shù)參數(shù)
    ME-Maapping.png
     

     

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