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    首頁-產(chǎn)品系統(tǒng)-FTIR系列-IRE200-IRE-200 膜厚測(cè)試儀

    IRE-200 膜厚測(cè)試儀

    簡(jiǎn)要描述:光學(xué)薄膜測(cè)厚儀,IRE-200是一款超高精度的外延層厚度測(cè)量設(shè)備,利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進(jìn)行快速分析,主要應(yīng)用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測(cè)量。

    產(chǎn)品型號(hào):  更新時(shí)間:2025-04-27  瀏覽次數(shù):2759

    • 廠家實(shí)力

      Manufacturer Strength
    • 有效保修

      Valid Warranty
    • 質(zhì)量保障

      Quality Assurance

    詳細(xì)介紹

     

    一、概述

    IRE-200光學(xué)薄膜測(cè)厚儀是一款超高精度的外延層厚度測(cè)量設(shè)備,利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進(jìn)行快速分析,主要應(yīng)用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測(cè)量。

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    ■ 單拋/雙拋等多種模式選擇支持;

    ■ 自定義mapping功能;

    ■ 高檢測(cè)速率:Si標(biāo)準(zhǔn)外延片測(cè)量25點(diǎn)≤3min;

    ■ 高檢測(cè)精度:≤0.01um 。

    二、產(chǎn)品特點(diǎn)

    1)設(shè)備采用高性能光源模塊,光源穩(wěn)定性好,信噪比高,覆蓋范圍7800-350cm-1

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    2)搭配自主研發(fā)算法軟件,可精準(zhǔn)快速地獲取測(cè)量結(jié)果。

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    3) 搭配自主研發(fā)的mapping運(yùn)動(dòng)臺(tái),定位精準(zhǔn)、測(cè)量速度快。

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    三、產(chǎn)品應(yīng)用

     IRE-200廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延層厚度的量測(cè)。

    SiC EPI量測(cè)案例

          

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    技術(shù)參數(shù)

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