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    首頁-產品系統-FTIR系列-IRE200-IRE-200 膜厚測試儀

    IRE-200 膜厚測試儀

    簡要描述:光學薄膜測厚儀,IRE-200是一款超高精度的外延層厚度測量設備,利用紅外光譜經傅里葉變換進行快速分析,主要應用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測量。

    產品型號:  更新時間:2025-02-08  瀏覽次數:2179

    • 廠家實力

      Manufacturer Strength
    • 有效保修

      Valid Warranty
    • 質量保障

      Quality Assurance

    詳細介紹

     

    一、概述

    IRE-200光學薄膜測厚儀是一款超高精度的外延層厚度測量設備,利用紅外光譜經傅里葉變換進行快速分析,主要應用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測量。

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    ■ 單拋/雙拋等多種模式選擇支持;

    ■ 自定義mapping功能;

    ■ 高檢測速率:Si標準外延片測量25點≤3min;

    ■ 高檢測精度:≤0.01um 。

    二、產品特點

    1)設備采用高性能光源模塊,光源穩定性好,信噪比高,覆蓋范圍7800-350cm-1。

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    2)搭配自主研發算法軟件,可精準快速地獲取測量結果。

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    3) 搭配自主研發的mapping運動臺,定位精準、測量速度快。

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    三、產品應用

     IRE-200廣泛應用于半導體行業中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延層厚度的量測。

    SiC EPI量測案例

          

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    技術參數

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